Tasnadi, William: Entwurf eines elektrostatischen Membranschalters für SiCer-Substrate

Abstract in German:

Im Bereich der modernen Telekommunikation leitet uns der wachsende Trend der schnelleren, kleineren und effizienteren Radiofrequenz Front- und Backends für Smartphones, Kommunikationssatelliten und Applikationen für die Industrie 4.0 dazu innovative Impedanzanpassung Techniken und Schaltungen zu berücksichtigen. RF Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) in Kombination mit Niedertemperatur Co-fired Ceramics in einer Silizium-auf-Keramik-Technologie bieten eine hohe HF-Dielektrikum Leistung und verlustarme einstellbaren Kapazitäten (Varaktor). In dieser Arbeit konzentrieren wir uns auf die elektrischen und mechanische Simulation, Konstruktion und Fertigung von drei verschiedenen Varaktoren in drei verschiedenen Größen auf einem SiCer Substrat und ihre Integration in ein Impedanzanpassungsnetzwerk auf koplanare Wellenleiter. Die Verwendung von anti-pull-in Designs ermöglichen Hochkapazitätsquotient und analoge Justierung durch bias Spannungseinstellung über den gesamten Kapazitätsbereich resultierend in hohen Eingangsimpedanzanpassungsmöglichkeiten.