Kühnel, Michael; Fröhlich, Thomas; Füßl, Roland; Hoffmann, Martin; Manske, Eberhard; Rangelow, Ivo W.; Reger, Johann; Schäffel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Zöllner, Jens-Peter:
Towards alternative 3D nanofabrication in macroscopic working volumes
59. Ilmenau Scientific Colloquium. Technische Universität Ilmenau (Ilmenau, 11.-15.09.2017); 59. International Scientific Colloquium. Technische Universität Ilmenau (Ilmenau, 11.-15.09.2017); 59. Ilmenauer Wissenschaftliches Kolloquium. Technische Universität Ilmenau (Ilmenau, 11.-15.09.2017); 59. IWK. Technische Universität Ilmenau (Ilmenau, 11.-15.09.2017)
In: Measurement science and technology : devoted to the theory, practice and application of measurement in physics, chemistry, engineering and the environmental and life sciences from inception to commercial exploitation, Jg. 29 (2018), Heft 11, 19 Seiten, Artikel 114002
2018Konferenz-/Tagungsbeitrag in ZeitschriftClosed Access
Technische Universität Ilmenau (1992-) » Fakultät für Maschinenbau (1992-) » Institut für Prozessmess- und Sensortechnik (1992-) » Fachgebiet Prozessmesstechnik (1993-)Technische Universität Ilmenau (1992-) » Fakultät für Maschinenbau (1992-) » Institut für Prozessmess- und Sensortechnik (1992-) » Fachgebiet Fertigungs- und Präzisionsmesstechnik (2015-)Technische Universität Ilmenau (1992-) » Fakultät für Informatik und Automatisierung (1992-) » Institut für Automatisierungs- und Systemtechnik (1992-) » Fachgebiet Regelungstechnik (2000-)Technische Universität Ilmenau (1992-) » Fakultät für Maschinenbau (1992-) » Ohne Institutszuordnung (1992-) » Fachgebiet Technische Optik (1992-)Technische Universität Ilmenau (1992-) » Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (1992-) » Institut für Mikro- und Nanoelektronik (2004-) » Fachgebiet Mikro- und nanoelektronische Systeme (2006-)
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel in Englisch:
Towards alternative 3D nanofabrication in macroscopic working volumes
Konferenz
59. Ilmenau Scientific Colloquium. Technische Universität Ilmenau (Ilmenau, 11.-15.09.2017)
Konferenz
59. International Scientific Colloquium. Technische Universität Ilmenau (Ilmenau, 11.-15.09.2017)
Konferenz
59. Ilmenauer Wissenschaftliches Kolloquium. Technische Universität Ilmenau (Ilmenau, 11.-15.09.2017)
Konferenz
59. IWK. Technische Universität Ilmenau (Ilmenau, 11.-15.09.2017)
Autor*in:
Kühnel, MichaelTU
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;Fröhlich, ThomasTU
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;Sinzinger, StefanTU
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ResearcherID
FYD-0863-2022
ResearcherID
G-2469-2010
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;Zöllner, Jens-PeterTU
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22969786600
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58319985200
Sonstiges
der Hochschule zugeordnet
Erscheinungsjahr:
2018
Open-Access-Publikationsweg:
Closed Access
DOI
10.1088/1361-6501/aadb57
Scopus ID
85055336798
PPN:
1037520092
Sprache des Textes:
Englisch
Erschienen in
Measurement science and technology : devoted to the theory, practice and application of measurement in physics, chemistry, engineering and the environmental and life sciences from inception to commercial exploitation
Titel (abgekürzt):
Meas. Sci. Technol.
Erscheinungsort:
Bristol
Verlag:
IOP Publ.
Erscheinungsjahr:
1990
in:
Jg. 29 (2018), Heft 11, 19 Seiten, Artikel 114002
ISSN
1361-6501 Verfügbarkeit online & gedruckt anzeigen
ISSN
0957-0233 Verfügbarkeit online & gedruckt anzeigen
PPN:
225274744
PPN:
130813087
ZDB ID
1362523-8
ZDB ID
1011901-2
URL:
https://ezb.ur.de/?1362523-8
Sprache des Textes:
Englisch
Datenträgertyp:
Online-Ressource
Ressourcentyp:
Text
Peer Reviewed:
Ja
Teil der Statistik:
Nein
Schlagwort, Thema:
direct laser writing ; interference lithography ; nanofabrication ; nanoimprint ; nanopositioning and measuring machines ; scanning probe lithography ; two-photon polymerization
Datenträgertyp:
Online-Ressource
Ressourcentyp:
Text
Access Rights:
eingeschränkter Zugang
Peer Reviewed:
Ja
Teil der Statistik:
Ja
DESTATIS Fachsystematik:
6970 Steuerungs-, Mess- und Regelungstechnik
DESTATIS Fachsystematik:
6970 Steuerungs-, Mess- und Regelungstechnik
DESTATIS Fachsystematik:
6975 Technische/angewandte Optik
DESTATIS Fachsystematik:
7140 Mikrosystemtechnik
DESTATIS Fachsystematik:
7155 Steuerungs-, Mess- und Regelungstechnik (elektrisch)